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按照真空熱處理爐加熱方式的不同,真空熱處理爐可分為直接加熱式和間接加熱式兩種:
1、直接加熱式真空熱處理爐:電流直接通過工件,利用工年本身的電阻熱使工件升溫,適用于工件截面相同,質地均勻的細長工件。
2、間接加熱式真空電阻爐:在真空室的內部采用耐高溫的電阻材料作為加熱體,加熱體通電之后,以輻射方式將電阻熱傳給工件。目前絕大部分真空熱處理爐是間接加熱式的真空電阻爐。
按照加熱體所處位置的不同,真空熱處理爐可分為外熱式和內熱式兩種:
1、外熱式爐,又稱馬弗爐,其加熱體安置在爐子的外部,在大氣中加熱,被加熱的工件放在爐室內部,并對爐室抽真空,高溫罐體通過熱輻射將工件加熱。優點是結構簡單,制造容易,加熱體不產生放電現象,真空爐內附件少,開孔少,密封面少,抽空容易,設備投資少。缺點是爐子內部外于真空狀態,外部受大氣壓力的作用,因此對爐體高溫強度要求很高,防止在高溫下罐體受壓變形,故爐子工作溫度受到限制,一般在1100度以下應用。工件的加熱和冷卻時間比較長,適用于小型熱處理爐。
2、內熱式爐,把加熱體、保溫爐襯和爐床等都放在爐室內部,爐殼采用水冷,故爐室內工作溫度不受爐殼材料高溫強度的限制,可加熱到很高的溫度,克服了外熱式爐的缺點,目前絕大部分真空熱處理爐都是內熱式真空電阻爐。
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