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產品型號:KJ-T1200-S6012LK1-3FH5S
主要用途:高溫真空CVD設備是一種特殊的高真空CVD系統,廣泛應用于半導體工業中沉積薄膜材料,包括大范圍的絕緣材料,以及大多數金屬材料和金屬合金材料、二維材料等,如碳化硅鍍膜、陶瓷基片導電率測試、ZnO納米結構的可控生長、陶瓷電容(MLCC)氣氛燒結等實驗。是高校、科研院所、工礦企業做高溫氣氛燒結、氣氛還原、CVD實驗、真空退火用的理想產品。
KJ-T1200-S6012LK1-3FH5S型高溫真空CVD設備由KJ-T1200滑動式快速退火管式爐+真空系統+供氣系統組成 ,最高溫度可以達到1200度,可以是單溫區、雙溫區、三溫區等,極限真空可以達到10-3Pa,供氣系統是流量調節可以是質子流量計或浮子流量計,混氣路數可以是2路、3路、4路、5路相混合,可以對多種氣體進行準確的混氣,然后導入到管式爐內部。爐管兩端安裝真空法蘭,真空度用分子泵可以到10-5Torr,機械泵可到10-3Torr。爐底安裝一對滑軌,可用手動滑動。加熱和冷卻速率最大可達100°C/m。為取得最快加熱,可以預先加熱爐子到設定的溫度,然后移動爐子到樣品位置。為獲得最快冷卻,可在樣品加熱后移動爐子到另一端。加熱和冷卻速率在真空或者惰性氣體環境下可以達到10°C/s,是低成本快速熱處理的理想爐子。
產品優勢
整個爐體采用雙層內膽式結構,中間有氣隙隔離,即使爐膛溫度很高,爐體表面仍然可以安全觸摸無滾燙感覺
重量輕、升溫速度快、節能、省時、耐高溫、耐腐蝕、保溫性好,能滿足何種快速燒結的要求
操作簡便,控溫準確、可靠、安全多段可編程控制,可以簡化復雜的試驗過程,真正實現自動控制和運行
結構 | 采用雙層殼體結構,并帶有風冷,使得殼體表面的溫度小于55°C | |
加熱元件 | 摻鉬合金加熱絲 | |
工作溫度 | 1100°C | |
最高溫度 | 1200°C | |
最大升溫速率 | 20°C/min | |
加熱區長度 | 400mm (18") | |
恒溫區長度 | 180mm(+/-1°C) | |
溫控系統 | 一個精密溫度控制器 PID方式控制,通過可控硅 SCR可設置30段升降溫程序。 | |
控溫精度 | +/-1°C | |
爐管材質和尺寸 | 石英管 ID: 72mm x OD: 80 mm x 1000 mm | |
密封法蘭 | 兩個不銹鋼密封法蘭,法蘭上已經安裝數字式真空顯示計,和閥門通過機械泵真空壓力可以達到5x10-2 torr,泄漏率最大6 mtorr/min | |
輸入電源 | AC 208~240V, 單相, 50/60Hz, 功率:最大5KW | |
真空泵和配件 | 真空泵:一個雙旋片式機械泵安裝在移動架內通過此機械泵真空度可以達到 5x10^-2 torr | |
標配的真空配件: 一對不銹鋼 密封法蘭和KF-25 真空泵接口,兩個不銹鋼針閥, 1/4"的軟管接頭一個1000mm長的KF-25 不銹鋼波紋管和四個KF-25不銹鋼快速卸裝卡箍一個LED數字式真空顯示計(測量范圍: 0.1mtorr ~ 850 torr) | ||
氣體流量計 | 4個浮子流量計,可同時混入4種不同氣體。 四通道控制 精度0.02% 、數字顯示、自動控制、 一個混氣罐、底部裝有泄廢液口 MFC 1范圍 0~100 sccm MFC 2和3 0~500 sccm 進氣接口 1/4NPS 出氣接口 1/4NPS |
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產品尺寸 | 外徑80 & 1000mm 的氧化鋁石英管 爐體尺寸:550 x 500 x 700mm L x W x H 混氣系統:: 600 x 600 x 700mm 真空機組: 600 x 600 x 700mm |
標準配件:
浮子混氣系統1臺、雙旋機械泵1臺、K型熱電偶1支、氣煉石英爐管1根、不銹鋼法蘭1套、不銹鋼爐鉤1、剛玉爐塞2對、高溫手套1副、剛玉坩堝2個、說明書1份
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鄭州科佳電爐有限公司是一家專業從事電爐產品的研發、生產與銷售的高新技術企業。我公司產品具有升溫快、節能、溫控精度高、保溫性能好、微電腦控制、可編程全自動升溫降溫、爐壁溫度接近室溫、使用壽命長等特點;產品型號達到上百種,并可根據客戶需求定制各式爐型,以滿足高校、科研院所和工礦企業做高溫燒結、金屬退火、氣氛還原和質量檢測之用,廣泛應用于陶瓷、化工、電子、冶金、新材料開發、機械、耐火材料、建材、特種材料等領域的實驗和生產,受到廣大新老用戶的一致好評。
主要產品有箱式馬弗爐、管式電阻爐、真空爐、氣氛爐、坩堝爐、CVD系統、牙科爐、升降爐、軌道爐、臺車爐、退火爐、升降爐、微波燒結爐、烤瓷爐等標準及非標實驗電爐和工業電爐,并提供各類電爐配件、加熱元件及耐火材料。
科佳鄭重承諾:每臺電爐出廠前均經過嚴格的質量檢測以及高溫測試,為客戶提供放心可靠的產品?。?!
1、我公司對所供設備提供質保一年保修服務(易損件除外),在保修期內因設備質量原因造成的設備損壞或故障,均予以免費維修。保修期滿后,仍提供終身的、優質的維修服務。
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3、我公司設提供免費的設備操作培訓和簡單故障排除維修培訓。
4、我公司技術人員可提供上門服務(產品安裝調試、整機維護、技術講解及操作指導等)。
5、本公司可提供運輸服務,包裝方式均按照標準安全包裝進行。隨機技術資料齊全(用戶手冊、保修手冊、有關資料及配件、隨機工具等)。
6、本公司所有產品均有歐盟CE質量認證。