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產品型號:KJ-1200T-S60LK3-3FZ
主要用途:該系統廣泛用于各種反應溫度在1100℃左右的CVD實驗,如半導體工業中沉積薄膜材料,包括大范圍的絕緣材料,以及大多數金屬材料和金屬合金材料、二維材料等,如碳化硅鍍膜、陶瓷基片導電率測試、ZnO納米結構的可控生長、陶瓷電容(MLCC)氣氛燒結等實驗。是高校、科研院所、工礦企業做高溫氣氛燒結、氣氛還原、CVD實驗、真空退火用的理想產品。
KJ-1200T-S60LK3-3FZ型CVD管式爐由KJ-T1200管式爐+真空系統+供氣系統組成 ,最高溫度可以達到1200度,可以是單溫區、雙溫區、三溫區等,極限真空可以達到10-3Pa,供氣系統是流量調節可以是質子流量計或浮子流量計,混氣路數可以是2路、3路、4路、5路相混合。管式爐采用摻鉬合金加熱絲為加熱元件,采用雙層殼體結構和宇電控溫儀表,能進行30段程序控溫,移相觸發、可控硅控制,爐膛采用日本進口氧化鋁多晶纖維材料,具有溫場均衡、表面溫度低、節能等優點。
產品優勢
內爐膛表面涂有1750℃進口氧化鋁涂層材料提高反射率及爐膛潔凈度?
爐殼采用雙層殼體結構,并帶有風冷系統,使得殼體表面溫度小于55℃
控溫系統采用PID方式調節,可以設置30段升降溫程序,控溫精度可以達到±1℃
高溫爐殼 | 采用雙層殼體結構,并帶有風冷系統,使得殼體表面溫度小于55℃ |
功率 | 2.5 KW |
電壓 | AC 208-240V 單相, 50/60 Hz |
加熱元件 | 摻鉬鐵鉻鋁合金(表面涂有氧化鋯涂層,使其較大程度延長使用壽命) |
最高工作溫度 | 1200℃ |
連續工作溫度 | 1100℃ |
最快升溫速率 | <= 20 ℃ |
爐管材質尺寸 | 石英管: OD: 80mm x ID: 75 mm x Length: 1000 mm |
加熱區長度 | 三溫區:200+200+200 mm |
恒溫區長度 | 350 (+/-1 ℃) |
控溫系統 | PID30段程序化控溫 |
控溫精度 | +/- 1 ℃ |
真空密封系統 | 兩個不銹鋼密封法蘭(上面已安裝真空計和截止閥),最大漏氣率6 mtorr/min |
真空泵 | 采用雙旋機械泵,機械泵上安裝有油污過濾器,可以過濾真空泵工作時產生的油煙,減少泵油的損耗,保護環境和人體健康,過濾的最小微粒直徑為0.3微米。 |
真空顯示計 | 數顯真空計,已安裝在不銹鋼法蘭上 |
混氣系統 | 三個質量流量計 三路質量量程分別為 10-100 cc/min. 16-160 cc/min. 25-250 cc/min 內部安裝有一混氣罐 |
售后服務 | 質保一年,終身保修 |
質量混氣系統1臺、雙旋機械泵1臺、K型熱電偶1支、氣煉石英爐管1根、不銹鋼法蘭1套、不銹鋼爐鉤1、爐塞1對、高溫手套1副、說明書1份
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鄭州科佳電爐有限公司是一家專業從事電爐產品的研發、生產與銷售的高新技術企業。我公司產品具有升溫快、節能、溫控精度高、保溫性能好、微電腦控制、可編程全自動升溫降溫、爐壁溫度接近室溫、使用壽命長等特點;產品型號達到上百種,并可根據客戶需求定制各式爐型,以滿足高校、科研院所和工礦企業做高溫燒結、金屬退火、氣氛還原和質量檢測之用,廣泛應用于陶瓷、化工、電子、冶金、新材料開發、機械、耐火材料、建材、特種材料等領域的實驗和生產,受到廣大新老用戶的一致好評。
主要產品有箱式馬弗爐、管式電阻爐、真空爐、氣氛爐、坩堝爐、CVD系統、牙科爐、升降爐、軌道爐、臺車爐、退火爐、升降爐、微波燒結爐、烤瓷爐等標準及非標實驗電爐和工業電爐,并提供各類電爐配件、加熱元件及耐火材料。
科佳鄭重承諾:每臺電爐出廠前均經過嚴格的質量檢測以及高溫測試,為客戶提供放心可靠的產品?。?!
1、我公司對所供設備提供質保一年保修服務(易損件除外),在保修期內因設備質量原因造成的設備損壞或故障,均予以免費維修。保修期滿后,仍提供終身的、優質的維修服務。
2、在設備使用過程中如遇故障的,我公司將盡快做出處理方案,確保設備正常運行。
3、我公司設提供免費的設備操作培訓和簡單故障排除維修培訓。
4、我公司技術人員可提供上門服務(產品安裝調試、整機維護、技術講解及操作指導等)。
5、本公司可提供運輸服務,包裝方式均按照標準安全包裝進行。隨機技術資料齊全(用戶手冊、保修手冊、有關資料及配件、隨機工具等)。
6、本公司所有產品均有歐盟CE質量認證。