1、大部分加熱與隔熱材料只能在真空狀態下使用：真空熱處理爐的加熱與隔熱襯料是在真空與高溫下工作的，因而對這此材料一提出了耐高溫，蒸汽壓低，輻射效果好，導熱系數小等要求，氧化性能要求不高，所以，真空熱處理爐廣泛地采用了鎢、鉑和石墨等作加熱與隔熱構料、這此材料在大氣狀態下極易軌化，因此，常規熱處理爐是不能采用這此加熱與隔熱材料。 

2、采用低電壓大電流：石真空容器內，真空容器內的通電導體拍較高的電壓下，會產生輝光放電現象，在真空熱處理爐內，嚴重的會產生弧光放電，燒毀電熱元件、隔熱層等，造成重大事故和報失，因此，真空熱處理爐的電熱元件的工作電壓一般都不超過80—100伏，同時在電熱兒件結構設計時要采取有效措施，如盡最避免有尖端的部件，電極間的間距不能太小窄，以防止輝光放電或者弧光放電的發生。 

3、自動化程度高：真空熱處理爐的自動化程度之所以較高， 足因為金屬工件的加熱、冷卻等操作，需要十幾個甚至幾十個動作來完成，這些動作在真空熱處理爐內進行，操作人員無法接近、同時，有此動作如加熱保溫結束后，工件進行淬火工序須六個動作并且要在15秒鐘以內完成，在這樣迅速的條件米完成許多功作，很容易造成操作人員的緊張而構成誤操作，因此，只有較高的自功化才能準確、及時按程序協調。 

4、水冷裝置，真空熱處理爐的爐殼、爐蓋、電熱元件，分別處置（水冷電極）、中間真空隔熱門等部件，均在真空、受熱狀態下工作，在這種極為不利的條件下工作，必須保證各部件的結構不變形、不燒毀，因此，各部件應該根據不同的情況設置水冷裝置，以保證真空熱處理爐能夠正常運行并有足夠的使用壽命。