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真空爐,指的是在爐腔這一特定空間內利用真空系統將爐腔內的氣體排出,使爐腔內的氣體壓強小于一個標準大氣壓,在爐腔內空間中實現真空狀態的一種特殊加熱設備。
真空爐按照應用可分為真空淬火爐、真空釬焊爐 、真空退火爐、真空加磁爐、真空回火爐、真空燒結爐、真空擴散焊爐、真空滲碳爐等。
大部分的真空爐是由如下七個系統組成:
1、爐體
爐體采用雙層圓筒結構,內外壁之間通水冷卻,使爐體內外壁保持在一個較低的溫度,防止加熱元件產生的熱量向外散溢造成危險。爐體的側部安設有真空抽接口、帶有真空充放氣閥門等。
2、爐蓋
臥式真空爐爐蓋側開,立式真空爐可采用上開蓋或下方升降開蓋方式。爐蓋也同用采用雙層水冷結構,內外壁之間通水冷卻。
3、加熱保溫系統
可采用多種加熱元件進行加熱,如電阻絲、硅碳棒、硅鉬棒、石墨、鉬板及電子束、激光、感應加熱等。加熱電極為專門設計真空密封,保證與爐體的良好密封和絕緣。為保持溫度穩定、節能降耗,一般會在真空腔體內設置保溫爐膛,耐熱保溫材料可選擇氧化鋁纖維、高純石墨板和石墨纖維、鉬板和不銹鋼板制作的隔熱屏等。
4、測溫系統
根據不同溫度區間,可選用K型、N型、S型、B型熱電偶或紅外測溫儀測溫。
5、真空系統
真空系統是用來實現爐膛內真空環境的,根據不同的真空度要求可選用機械泵、羅茨泵、擴散泵、分子泵等單獨或組合使用,配合真空擋板閥、高真空蝶閥、數顯真空計、真空壓力表、真空放氣閥、真空管路等形成真空系統,并留有充氣接口。為減少爐體振動,真空管道與泵的連接采用金屬波紋管,真空度通過數顯真空計和真空壓力表顯示。
6、水冷系統
水冷系統由冷水機、集水器、進水管、回水管、閥門、管路等組成。通過管路供給真空機組、爐體、爐門等,以確保設備及時降溫隔熱,以策安全。如客戶的生產現場備用循環水系統,亦可直接接入循環水實現降溫。
7、控制系統
溫度的控制是通過溫度程序控制儀根據用戶設定的工藝曲線,實行自動控制溫度,并具有PID自整定功能,也可根據用戶需要手動控制溫度。人機交互界面一般采用LCD觸控屏,可實現溫度曲線設置、溫度顯示、加熱和真空系統控制、報警顯示、數據記錄等功能。
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