真空熱處理爐從大氣狀態抽到工作真空度，真空系統的操作要分為4大步驟：zSK高溫箱式電阻爐,管式爐,真空退火爐,真空燒結爐,管式高溫爐-鄭州科佳電爐有限公司
1、羅茨泵啟動，打開前級閥，關閉主閥和預抽閥，用按鈕啟動機械泵，當低真空規管測量的真空度高于羅茨泵入口真空度時，比如小于2kPa,啟動羅茨泵；zSK高溫箱式電阻爐,管式爐,真空退火爐,真空燒結爐,管式高溫爐-鄭州科佳電爐有限公司
2、預熱擴散泵，主閥和預抽閥仍處于關閉狀態，前級泵機組對擴散泵抽真空，當低真空規管測量擴散泵前級真空度高于規定值時，比如小于7Pa,啟動擴散泵加熱器；zSK高溫箱式電阻爐,管式爐,真空退火爐,真空燒結爐,管式高溫爐-鄭州科佳電爐有限公司
3、預抽爐內真空，先關前級閥，并停羅茨泵，稍后找開預抽閥對爐內抽真空。爐內真空度抽到高于羅茨泵入口真空度時，再啟動羅茨泵，前級泵機組對爐內抽氣，使之達到預抽真空度；zSK高溫箱式電阻爐,管式爐,真空退火爐,真空燒結爐,管式高溫爐-鄭州科佳電爐有限公司
1）預抽真空期間要觀察擴散泵真空度，如果擴散泵前級真空度低于規定值，就關閉預抽閥，稍后打開前級閥，再抽前級真空；zSK高溫箱式電阻爐,管式爐,真空退火爐,真空燒結爐,管式高溫爐-鄭州科佳電爐有限公司
2）當擴散泵前級真空度高于規定值時，關閉前級閥，稍后打開預抽閥，繼續對爐內預抽真空；zSK高溫箱式電阻爐,管式爐,真空退火爐,真空燒結爐,管式高溫爐-鄭州科佳電爐有限公司
3）如果爐內真空度低于羅茨泵入口真空度，要停止羅茨泵，直到爐內真空度高于羅茨泵入口真空度后，再啟動羅茨泵；zSK高溫箱式電阻爐,管式爐,真空退火爐,真空燒結爐,管式高溫爐-鄭州科佳電爐有限公司
4）當低真空規管測得的爐內真空度達到預抽真空度，而擴散泵的加熱時間沒到，則打開前級閥，同時對爐內和擴散泵抽真空，等待擴散泵預熱時間到；zSK高溫箱式電阻爐,管式爐,真空退火爐,真空燒結爐,管式高溫爐-鄭州科佳電爐有限公司
4、抽高真空，爐內真空度達到或高于規定值，且擴散泵加熱時間到，先關預抽閥，然后開高真空閥，對爐內抽高真空，直到高真空規管測得的爐內真空度達到或高于工作真空度，才進行下一步操作。zSK高溫箱式電阻爐,管式爐,真空退火爐,真空燒結爐,管式高溫爐-鄭州科佳電爐有限公司
真空系統的關閉步驟相對于比較簡單，當真空爐溫度減低到可關真空系統的要求時，關閉主閥，接著關閉擴散泵加熱器，但前級閥不能關閉，前級泵機組仍然工作，直到擴散泵加熱器冷卻時間到，才依次關閉前級閥和前級泵機組。zSK高溫箱式電阻爐,管式爐,真空退火爐,真空燒結爐,管式高溫爐-鄭州科佳電爐有限公司