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真空熱處理爐的真空系統一般由真空泵、真空閥門、真空測量儀表、冷阱、管道等部分組成,下面介紹幾種常見的真空系統:
下圖1是低真空系統,適用于真空度在2~1333pa范圍的真空熱處理爐,如預抽井式真空爐多采用這個系統。圖2是具有機械增壓泵的真空系統,適用于真空度在1.33~10﹣¹pa范圍的真空熱處理爐,真空淬火爐廣泛采用此系統。圖3和圖4是高真空系統及帶有增壓泵的高真空系統,適用于真空度在1.33x10﹣²~6.6x10﹣4pa范圍的真空熱處理爐,真空退火爐,真空釬焊爐多采用此系統。
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