真空熱處理爐包括真空退火爐、真空燒結爐、高溫高壓真空爐、真空加熱爐，氣氛真空爐、真空管式爐、真空箱式爐等；真空熱處理爐分為外熱式和內熱式，本文為大家介紹的是內熱式真空熱處理爐。UJ9高溫箱式電阻爐,管式爐,真空退火爐,真空燒結爐,管式高溫爐-鄭州科佳電爐有限公司
 

1.內熱式真空熱處理爐的結構UJ9高溫箱式電阻爐,管式爐,真空退火爐,真空燒結爐,管式高溫爐-鄭州科佳電爐有限公司
 

內熱式真空熱處理爐是將整個加熱裝置（加熱元件、耐火材料）及欲處理的工件均放在真空容器內，沒有爐罐，整個爐殼就是一個真空容器。爐中安設電熱元件、隔熱屏、爐床、風扇、傳送機構和其他構件等。通過電熱元件的熱輻射或充入氣體氣流循環加熱工件，爐殼多采用雙層水冷式設計，因而也可稱作冷壁式真空爐。電熱元件多位于加熱室中部，圍繞工件有效加熱區設計安置，外部是金屬輻射屏或非金屬隔熱屏結構，爐床安裝在加熱室下部，風扇結構所安設在冷卻室，也有安設于加熱室的一端，上部或下部，并且和熱交換器裝置組成強制氣流循環的加熱和冷卻系統。傳遞機構多設在冷卻室，有些和爐外料筐支架相連，根據用途和某些特殊要求采取不同型式結構。加熱電極通過爐殼引入，設計時要考慮加熱電極的水冷和密封結構，以保證其良好的工作特性。UJ9高溫箱式電阻爐,管式爐,真空退火爐,真空燒結爐,管式高溫爐-鄭州科佳電爐有限公司
 

典型的內熱式真空熱處理爐的結構示意圖下圖所示。

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目前內熱式真空熱處理爐形式多樣，按其外形及結構可分為立式、臥式、單室、雙室和三室。工作冷卻方式分為自冷、負壓氣冷、負壓油冷和加壓氣冷（2x10³pa）、高壓氣冷（2x10⁵pa）及超高壓氣冷（20x10⁵pa）等爐型。按照熱處理工藝科分為淬火爐和回火爐。有單功能的，也有多功能的。