由于產品不同,技術要求及熱處理規范也各不相同,所用的真空熱處理爐的結構也多種多樣。為了便于分析比較與合理選擇、使用,通常按以下特征進行分類。
按真空度可分為:低真空爐(1333-1.33x10﹣1Pa)、高﹣真空爐(1.33x10﹣2-1.33x10﹣4Pa)、超高真空爐(1.33x10﹣4Pa以上)。
按工作溫度可分為:低溫爐(≤700℃)、中溫爐(700-1000℃)、高溫爐(≥1000℃)。
按爐型結構形式可分為:立式真空爐和臥式真空爐。
按作業性質可分為:周期式真空爐、半連續和連續式真空爐。
按熱源可分為:電阻加熱真空爐、感應加熱真空爐、電子束加熱真空爐和離子加熱真空熱處理爐等。
通常,從爐子結構和加熱方式,將
真空熱處理爐基體上可以歸為兩大類:一類是外熱式真空熱處理爐,也被稱作壁式真空熱處理爐;另一類是內熱式真空熱處理爐,也被稱作冷壁式真空熱處理爐。