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油擴散泵的使用與維護
作者:科佳電爐 來源：原創 發表時間：2015-01-08 11:22:37
影響真空管式爐組件擴散泵性能的主要因素
影響擴散泵性能的主要因素有:
(1)擴散泵油蒸氣的返流，解決的方法是在真空系統上加裝冷阱，能有效地防止油蒸氣的返流。
(2)氣體分子的反擴散，通過在高真空機組中增加羅茨泵或雙機械泵，增大前級泵的抽速，降低擴散泵出氣口的壓力，這樣不僅可減少氣體分子的反擴散，而且還能減少油蒸氣的返流。
(3)擴散泵油的裂化分解，采用合格的擴散泵油防止裂化分解。
(4)擴散泵臟化，污染物留在泵內重復循環，應對擴散泵進行清洗，并更換泵油。
使用注意事項
(1)定期檢查泵的性能，更換符合要求的擴散泵油，參見使用說明書。
(2)擴散泵加熱前及工作過程中冷卻水必須保證暢通，停止加熱后，必須保證泵油已完全冷卻后才能關閉冷卻水，具體冷卻到什么溫度才關閉冷卻水，詳見說明書。
(3)擴散泵停止工作時，泵內應保持真空狀態，避免放人大氣造成泵油氧化，以延長泵油壽命。
(4)只有達到擴散泵的前級真空度時，才能進行加熱，否則會加速泵油的氧化。
(5)被抽的應當是干燥、無腐蝕、無灰塵氣體。
(6)如果擴散泵正常工作時真空度突然下降，應首先檢查加熱器是否斷路，再檢查是否存在漏點。
(7)新安裝的擴散泵達不到極限真空度，應檢查密封是否可靠，裝配是否正確。
(8)擴散泵工作過程中，應注意前級機械泵的工作情況，因為前級機械泵變壞后，直接影響油擴散泵的正常工作。
(9)要求機械泵的極限壓力應比擴散泵前級壓力低一個數量級。
保養注意事項
(1)油擴散泵安裝或維修時應垂直放置，使泵芯部件處于正常工作狀態。
(2)清洗零件及泵腔時，先用航空汽油清洗，然后用絲綢蘸乙醚或丙酮進行擦洗，并置于80-100℃下烘干或用電吹風吹干。
(3)清洗完畢后，按順序進行裝配，注意保持泵芯與泵底垂直，并與泵腔同心，各級噴嘴間隙要按原要求調整好。
(4)連接密封處，橡膠密封應可靠。
(5)擴散泵如暫時不用，保管期問應在室溫保持真空狀態，以免泵油污染和零件腐蝕，并將冷卻水套內的剩水吹凈。
(6)在長期工作后，泵性能逐漸變壞，應檢查油量是否減少或氧化，必要時增添油量，更換新油時要清洗后烘干。
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