真空爐的真空系統結構是影響真空系統密封性和系統漏氣率的關鍵，真空系統的結構合理與否，將直接影響系統的密封性和系統的漏氣率。如何有效降低真空系統的漏氣率？科佳電爐的做法是從爐體設計、密封類型、密封材料、密封結構等方面入手以使真空爐達到更高的真空爐更小的漏氣率。

        科佳電爐在爐體設計方面做出的改進為： 

        首先就是盡可能地避免出現小曲率半徑的死角。其次抽空管道、送氣管道等與真空室相連接的管道，都利用圓弧過渡，使氣路暢通無阻。真空室內各種連接件的結構都經過精密設計，使氣路暢通，避免氣路堵塞。表面越光亮就越不易氣體吸附，為了更好的獲得真空度真空系統內表面都經過打磨拋光。  

        關于密封類型的選擇為：     

        科佳的真空爐密封類型可根據用戶所需真空度的高低及實際工作需要選擇密封類型，對于人工晶體生長設備，一般需要的真空度在lO-3Pa以下，因此，無需利用金屬密封。以TDR--70型單晶爐為例，我們選擇磁性流體密封作為旋轉動密封，選擇高精度大伸縮量的焊接波紋管進行移動密封，小直徑軸的旋轉密封選用“O”型密封圈或威爾遜密封，各種靜密封則利用“0”型密封圈密封類型，直徑壓縮比為25％。     

       密封件材質的選用：

       真空度在lO-3Pa以下的真空系統，密封材料一般選擇橡膠密封圈即可滿足需求。但是，考慮到實際工作條件的需要(真空室內溫度最高可達2300oC，密封部位進行水冷后，其溫度在80oC左右，個別處溫度可達100oC以上)。因此，要選擇比較理想的密封圈材料。用于真空密封橡膠材料，除需求具有光潔表面、無劃傷、無裂紋外，還需求有低的滲透率和出氣率，良好的耐熱性耐油性，同時要有一定的強度、硬度和彈性等。       

       密封結構的選擇：   

       各種真空系統中，80%以上的密封為靜密封，靜密封效果的好壞，對系統的真空度及漏氣率有很大的影響。因此，科佳的設備靜密封結構都進行認真設計，以達到理想的效果。對靜密封結構的設計，重點考慮如何選擇重點密封面、如何減小殘留氣體及如何充分發揮橡膠密封圈功能等方面。更多問題可直接與我們聯系或留言我們會在第一時間與您聯系。