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產品型號:KJ-T1200-S80-DZPECVD-R
主要用途: 該系統廣泛應用于沉積高質量、SiO2薄膜、Si3N4薄膜、SiC薄膜、硬質薄膜、光學薄膜和炭納米管(CNT)、石墨烯材料等。
該設備是一款定制的PECVD系統,增加了傾斜、旋轉功能。該系統包含等離子射頻電源,高溫管式爐,4通道質量流量供氣系統和分子泵機組。PECVD系統是借助射頻使含有薄膜組成原子的氣體電離,在局部形成等離子體,而等離子體化學活性很強,很容易發生反應,在基片上沉積出所期望的薄膜。 該系統廣泛應用于沉積高質量、SiO2薄膜、Si3N4薄膜、SiC薄膜、硬質薄膜、光學薄膜和炭納米管(CNT)、石墨烯材料等,是科研機構和大學實驗室的理想產品。
產品優勢
爐管采用定制變徑爐管,管壁內帶有石英撥料臺,讓物料受熱更充分。爐管360℃旋轉,旋轉速度可調
PECVD具有基本溫度低、沉積速率快、成膜質量好、針孔較少、不易龜裂等優點
溫控系統采用PID智能化程序控溫,自整定功能并可編制多段升降溫程序
產品名稱 | 定制旋轉PECVD系統 |
滑軌管式爐部分 | |
產品型號 | KJ-T1200-S80-DZPECVD-R |
爐管尺寸 | 80*長度1600mm 可選其他直徑Φ50,60,80,100,120,150mm |
爐管材質 | 石英管 |
加熱區 | 單溫區,溫區長度400mm |
工作溫度 | 1100℃ |
最高溫度 | 1200℃ |
溫控方式 | K型熱電偶 |
控制方式 | 觸屏控制 |
控溫精度 | ±1℃ |
溫控保護 | 具有超溫和斷偶保護功能 |
升溫速率 | 0-20ºC/min可調 ,建議10ºC/min |
加熱元件 | 含鉬電阻絲 |
工作電壓 | AC 220V 單相 50HZ (電路電壓用戶可選擇定制) |
加熱功率 | 3KW |
爐膛材料 | 氧化鋁多晶纖維 |
法蘭接頭 | 標配配有不銹鋼真空法蘭,已安裝機械壓力表和不銹鋼截止閥 |
密封系統 | 該爐爐管與法蘭之間采用硅膠O型圈擠壓密封、撤卸方便、可重復撤卸,磁流體密封,氣密性好可實現爐管旋轉過程中的高真空。 |
真空系統部分 | |
主要參數 | 采用高真空分子泵組,爐管內真空度可達10-3pa |
氣路系統部分 | |
名稱 | 四路質量流量計(量程可選) |
等離子電源部分 | |
功率范圍 | 0-500W(連續可調) |
售后服務 | 質保一年,終身保修(耗材類:高溫密封圈、爐管、加熱元件等及人為損壞不屬于質保范圍) |
更多規格可根據客戶需求定制 |
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鄭州科佳電爐有限公司是一家專業從事電爐產品的研發、生產與銷售的高新技術企業。我公司產品具有升溫快、節能、溫控精度高、保溫性能好、微電腦控制、可編程全自動升溫降溫、爐壁溫度接近室溫、使用壽命長等特點;產品型號達到上百種,并可根據客戶需求定制各式爐型,以滿足高校、科研院所和工礦企業做高溫燒結、金屬退火、氣氛還原和質量檢測之用,廣泛應用于陶瓷、化工、電子、冶金、新材料開發、機械、耐火材料、建材、特種材料等領域的實驗和生產,受到廣大新老用戶的一致好評。
主要產品有箱式馬弗爐、管式電阻爐、真空爐、氣氛爐、坩堝爐、CVD系統、牙科爐、升降爐、軌道爐、臺車爐、退火爐、升降爐、微波燒結爐、烤瓷爐等標準及非標實驗電爐和工業電爐,并提供各類電爐配件、加熱元件及耐火材料。
科佳鄭重承諾:每臺電爐出廠前均經過嚴格的質量檢測以及高溫測試,為客戶提供放心可靠的產品?。?!
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