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該系統是一個特殊的雙管CVD系統,是專門為在金屬箔上生長薄膜而設計,特別是應用在新一代能源關于柔性金屬箔電極方面的研究。爐底部裝有滑軌,可通過滑動爐子可以實現物料的快速加熱和冷卻。該cvd高溫爐廣泛應用于半導體工業中沉積薄膜材料,包括大范圍的絕緣材料,以及大多數金屬材料和金屬合金材料、二維材料等,如碳化硅鍍膜、陶瓷基片導電率測試、ZnO納米結構的可控生長、陶瓷電容(MLCC)氣氛燒結等實驗。
產品優勢
爐底部裝有滑軌,可通過滑動爐子可以實現物料的快速加熱和冷卻
控溫系統采用PID方式調節,30段高精度數字可編程溫度控制器
雙溫區獨立控溫,可以在加熱區內形成溫度梯度或較長的恒溫區域
產品名稱 |
1200℃雙管滑道式CVD系統 |
第一部分: 1200度滑道雙管雙溫區管式爐 |
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產品型號 |
1200度滑道管式爐 |
爐管尺寸 |
雙石英管 外管:OD 100 x ID 96 x 1400 mm 內管:OD 80 x ID 75 x 1800 mm |
加熱區 |
220+220mm |
供電電源 |
230V,單相,50HZ |
功率 |
4.0 kw |
加熱元件 |
電阻絲 |
升溫速率 |
0-20°C/min |
熱電偶 |
K型 |
第二部分: 水冷系統 |
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法蘭 |
1.水冷機 CW-3000 2.水冷,密封雙管的真空法蘭:允許反應氣體通過兩管之間(10mm間隙)發生反應,冷卻氣體直接通入內管. |
第三部分 真空系統 |
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真空系統 |
1. 防腐數顯真空計 2. VRD-16旋片泵,抽速4L/S,含擋板閥 KF25接口,波紋管和箱體 |
第四部分 混氣系統 |
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質量流量計 量程: MFC 1: 0~10 sccm MFC 2: 0~200 sccm MFC 3: 0~10 slm MFC 3: 0~10 slm |
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鄭州科佳電爐有限公司是一家專業從事電爐產品的研發、生產與銷售的高新技術企業。我公司產品具有升溫快、節能、溫控精度高、保溫性能好、微電腦控制、可編程全自動升溫降溫、爐壁溫度接近室溫、使用壽命長等特點;產品型號達到上百種,并可根據客戶需求定制各式爐型,以滿足高校、科研院所和工礦企業做高溫燒結、金屬退火、氣氛還原和質量檢測之用,廣泛應用于陶瓷、化工、電子、冶金、新材料開發、機械、耐火材料、建材、特種材料等領域的實驗和生產,受到廣大新老用戶的一致好評。
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