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定制流化床CVD系統,由真空立式管式爐、供氣系統、真空系統、真空測量系統組成。該系統以硅碳棒為加熱元件,采用雙層殼體結構和30段程序控溫儀表,移相觸發、可控硅控制,爐膛采用氧化鋁多晶纖維材料,爐管兩端用不銹鋼法蘭密封,不銹鋼法蘭上安裝有氣嘴、閥門和壓力表,真空泵接口,具有溫場均衡、表面溫度低、升降溫度速率快、節能等優點。該立式CVD管式爐廣泛應用于半導體工業中沉積薄膜材料,包括大范圍的絕緣材料,以及大多數金屬材料和金屬合金材料、二維材料等,如碳化硅鍍膜、陶瓷基片導電率測試、ZnO納米結構的可控生長、陶瓷電容(MLCC)氣氛燒結等實驗。
產品優勢
控溫系統采用PID方式調節,可以設置30段升降溫程序,控溫精度可以達到±1℃
不銹鋼金屬法蘭,帶閥門和相關接口,拆裝方便,可抽真空充保護氣體至微正壓
雙層殼體立式可開啟結構,取放爐管方便,裝有風冷系統,爐子外殼溫度保持安全范圍內
產品名稱 |
流化床CVD系統 |
產品型號 |
KJ-CVD-DZ |
立式管式爐部分 |
|
爐膛模式 |
立式開啟式 |
爐膛材料 |
進口氧化鋁耐火纖維 |
加熱元件 |
優質硅碳棒 |
極限溫度 |
1400℃ |
工作溫度 |
≤1300℃ |
升溫速率 |
≤20℃(建議:15℃/min) |
加熱溫區 |
單溫區、多溫區 |
溫區總長度 |
200、300、440 |
爐管材質 |
高純石英管、剛玉管 |
爐管直徑 |
40、50、60、80、100mm...... |
密封方式 |
304不銹鋼真空法蘭一套(含密封硅膠圈) |
控制模式 |
多段智能PID程序控溫 預留通訊接口 |
控溫精度 |
±1℃ |
溫度曲線 |
多段"時間—溫度曲線"任意可設 |
測溫元件 |
K型熱電偶 |
氣路系統部分 |
|
工作電壓 |
220V/50HZ |
最大輸出功率 |
18W |
工作溫度 |
5--45℃ |
氣體通道 |
可同時連接多種氣源 |
流 量 計 |
質量流量計 |
A路量程 |
0~500SCCM |
B路量程 |
0~500SCCM |
C路量程 |
0~500SCCM |
..... |
..... |
氣路壓力 |
-0.1~0.15 MPa |
截止閥 |
不銹鋼材質 |
氣體連接管 |
1/4不銹鋼管 |
數顯真空計及連接件 |
|
數顯真空計 |
數顯真空計安裝在不銹鋼法蘭上 |
真空泵組(相關連接配件) |
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真空泵 |
真空泵,及相應連接管件 220V/50HZ |
認證 |
ISO認證、CE認證 |
售后服務 |
質保一年,終身保修(耗材類:高溫密封圈、爐管、加熱元件等不屬于質保范圍) |
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鄭州科佳電爐有限公司是一家專業從事電爐產品的研發、生產與銷售的高新技術企業。我公司產品具有升溫快、節能、溫控精度高、保溫性能好、微電腦控制、可編程全自動升溫降溫、爐壁溫度接近室溫、使用壽命長等特點;產品型號達到上百種,并可根據客戶需求定制各式爐型,以滿足高校、科研院所和工礦企業做高溫燒結、金屬退火、氣氛還原和質量檢測之用,廣泛應用于陶瓷、化工、電子、冶金、新材料開發、機械、耐火材料、建材、特種材料等領域的實驗和生產,受到廣大新老用戶的一致好評。
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