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產品型號:KJ-V1200-L2
主要用途:KJ-V1200是一種立式流化床管式爐,專為固體氣相沉積的CVD實驗而設計。 爐管為高純石英異形,爐管內嵌有石英網固定。 粉末 2 從管頂部進料到該篩網上。 另一個網片固定在活動法蘭架部分上。 然后通入氮氣和乙炔,將粉體1氣體吹過上面的網孔,到達涂層反應區,將粉體2顆粒吹入反應區進行沉積實驗。
可選配置:該爐可配通訊接口和軟件,可以直接通過電腦控制爐子的各個參數,并能從電腦上觀察到爐子上PV和SV溫度值和儀表的運行情況,爐子的實際升溫曲線電腦會實時繪出,并能把每個時刻的溫度數據保存起來,隨時可以調出。
產品優勢
爐體和爐管直立,流化床設計,反應物料可以順暢地通過反應區
該爐型可抽真空(可根據真空度的需要分別選配機械泵或真空機組),并可充入各種反應氣氛(微正壓)
通過可控硅功率控制和自動調諧功能實現智能30段PID自動控制, 內置過熱和斷熱電偶保護
名稱 | 立式流化床管式爐 |
型號 | KJ-V1200-L2 |
加熱區長度 | 300+300mm, 兩溫區 |
爐管尺寸 | Φ50*1200mm |
管材質 | 內置5-20um網孔的高純石英管(定制) |
工作溫度 | ≦1100℃ |
最高溫度 | 1200℃ |
熱電偶 | K 型 |
溫度控制系統 | 通過可控硅功率控制和自動調諧功能實現智能30段PID自動控制。 內置過熱和斷熱電偶保護。 |
溫度控制精度 | ±1℃ |
升溫速率 | 0-20ºC/分鐘 |
加熱元件 | 鉬摻電阻絲鐵鉻鋁合金 |
工作電壓 | 220V, 50Hz, 單相 |
最大功率 | 6KW |
腔體材料 | 陶瓷纖維 |
真空法蘭 | 帶閥門和針頭的不銹鋼真空法蘭 |
真空泵 | 旋片真空泵 |
氣路 | 用于氮氣和乙炔的兩路浮子流量計,可調節氣體流量以使材料流化。 流量范圍:0-1L/min。 |
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