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產品型號:KJ-T1200
主要用途: KJ-T1200 CVD是具有80mm直徑氧化鋁管真空泵和三通道質量流量計氣體流動系統的管式爐,它可以混合1-3種氣體用于CVD或擴散。?
可選配置:該爐可配通訊接口和軟件,可以直接通過電腦控制爐子的各個參數,并能從電腦上觀察到爐子上PV和SV溫度值和儀表的運行情況,爐子的實際升溫曲線電腦會實時繪出,并能把每個時刻的溫度數據保存起來,隨時可以調出。
KJ-T1200 CVD是具有80mm直徑氧化鋁管真空泵和三通道質量流量計氣體流動系統的管式爐。底殼上裝有一個氣體混合罐,底殼左側裝有3個不銹鋼針閥,它可以混合1-3種氣體用于CVD或擴散。
產品優勢
采用三溫區獨立控制加熱,每區多段程序控溫系統,移相觸發、可控硅控制
控溫系統采用PID方式調節,可以設置30段升降溫程序,控溫精度可以達到±1℃
帶有3個MFC氣體通道,可手動混合1-3種氣氛,適合不同的實驗需求
設備名稱 | 三溫區管式爐 | |
型號 |
帶有3個MFC氣體通道的 KJ-T1200 CVD |
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顯示 |
發光二極管 |
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最高溫度 |
1200℃ |
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連續工作溫度 |
≤1100℃ |
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加熱速率 |
建議:0?10℃/ min |
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溫度區 |
220毫米+220毫米+220毫米 |
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加熱元件 |
鉬電阻絲 |
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熱電偶 |
K型 |
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溫度控制精度 |
±1℃ |
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管尺寸 |
80x1200mm(外徑x長) |
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管座 |
包括兩個纖維狀陶瓷塊,用于阻止管子內部的熱輻射(在加熱之前,陶瓷塊必須完全插入爐膛中)。 |
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溫度控制 |
通過SCR功率控制進行PID自動控制 |
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程序和斜坡 |
30步可編程 |
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真空法蘭 |
帶閥的不銹鋼真空法蘭 |
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功率 |
220V,50 Hz,單相最大6KW |
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質量流量計 |
三種精密質量流量計: MFC 1:氣體流量范圍為0?100 sccm MFC 2:氣體流量范圍為0?200 sccm MFC 3:氣體流量范圍為0?200 sccm (氣體流量范圍可根據您的要求) 底殼上裝有一個氣體混合罐,底殼左側裝有3個不銹鋼針閥,以手動控制3種氣體的混合 下面的照片是4 MFC供參考。3 MFC將帶有3個顯示器 |
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