真空系統
1)能迅速地將真空熱處理爐的真空度抽到規定的要求。
2)能及時排出被處理工件和爐內構件所釋放出的各種氣體,以及因真空泄漏而滲入爐體內的氣體。
3)真空機組占地面積小,運行安全可靠,操作簡便。
真空系統的組成
真空熱處理爐的真空系統通常由真空獲得設備(真空泵機組)、控制真空組件和測量真空組件所組成。
1)真空泵機組。根據爐子工作壓力和抽氣量的大小,分別選配不同的低真空泵、中真空泵、高真空泵和超高真空泵。
2)真空組件或元件。在真空爐體和真空泵機組之間配備的各種真空組件或真字元件,如管路、密封圈、法蘭、波紋管、冷阱、過濾器和閥門等。
3)真空測量系統,如真空規管、真空壓力表和其他真空測量儀表。
4)真空檢漏儀器、真空控制儀器、充氣裝置等。
真空爐品種多,對真空系統的要求不一樣。就真空度而言,有低真空、中真空和高真空系統。下面介紹幾種常用的真空系統。
1.低真空系統
低真空系統適用于真空度在2~1333Pa范圍的真空熱處理爐,如預抽低真空井式爐。大多以油封式旋轉機械泵為主泵。
2.中真空系統
中真空系統適用于真空度在3 X10~~1.333Pa范圍的真空熱處理爐。中真空系統在真空熱處理爐中應用最廣泛,其通常由兩級真空泵機組組成。初級泵多采用旋轉機械泵或滑閥式機械泵,主泵為機械增壓泵(羅茨泵)或油增壓泵
3.高真空系統
高真空系統適用于真空度在6.6×10~~1.333 X 10。Pa范圍的真空熱處理爐,如真空退火爐、真空釬焊爐,通常由三級真空泵機組組成,主泵通常采用油擴散泵、離子泵,初級泵大都也是采用旋轉機械泵或滑閥式機械泵。