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等離子增強pecvd系統比較好的廠家
作者:科佳電爐 來源：原創 發表時間：2016-10-08 10:46:08
PECVD系統即PECVD等離子體增強化學氣相沉積系統。
科佳pecvd設備是借助射頻等使含有薄膜組成原子的氣體電離，在局部形成等離子體，而等離子體化學活性很強，很容易發生反應，在基片上沉積出所期望的薄膜。為了使化學反應能在較低的溫度下進行，利用了等離子體的活性來促進反應，因而這種CVD稱為等離子體增強化學氣相沉積(PECVD)。
科佳pecvd設備主要由管式加熱爐體，真空系統，質子流量供氣系統，射頻等離子源，石英反應腔室等部件組成。
主要特點：
1、通過射頻電源把石英真空室內的氣體變為離子態。
2、PECVD比普通CVD進行化學氣相沉積所需的溫度更低。
3、可以通過射頻電源的頻率來控制所沉積薄膜的應力大小。
4、PECVD比普通CVD進行化學氣相沉積速率高、均勻性好、一致性和穩定性高。
5、廣泛應用于：各種薄膜的生長，如：SiOx, SiNx, SiOxNy 和無定型硅(a-Si:H) 等。
系統選型
項 目 推薦選型 管式加熱爐體
石英反應腔室 ：根據需求選擇不同直徑的石英管作為反應室。有Φ40，Φ60，Φ80，Φ100，Φ120，Φ150等規格可選。
真空系統 ：根據需求選擇不同真空效果的真空系統。有極限真空0.1Pa，極限真空0.001Pa，以及進口高真空機組極限真空0.0001Pa供選擇。
質子流量供氣系統：根據需求選擇多路質子流量供氣系統。有兩路，三路，四路，五路或更多路供選擇。
射頻等離子源：根據需求選擇強度不同的射頻電源。有（300W），（500W）或更大功率的射頻電源供選擇。
常見PECVD系統組合
1. 1200度60滑軌式微型管式爐，低真空系統，四路質子流量供氣系統，300W射頻電源
2. 1200度60滑軌式管式爐，低真空系統，四路質子流量供氣系統，500W射頻電源
3. 1200度60雙溫區滑軌式管式爐，低真空系統，四路質子流量供氣系統，500W射頻電源
4. 1200度60三溫區滑軌式管式爐，低真空系統，四路質子流量供氣系統，500W射頻電源
5. 1200度60微型預熱爐，1200度60滑軌式管式爐，低真空系統，四路質子流量供氣系統，500W射頻電源
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