真空熱處理具有無氧化、不脫碳、工件表面光亮、變形小、無污染、節能、自動化程度高，以及適用范圍廣等優點，是近年來發展得比較快的熱處理新技術之一，特別是在航空材料表面改性方面獲得了很大的進展。

 

許多新開發的熱處理技術，比如真空高壓氣淬、真空化學熱處理等，也需要在真空下方能實施。采用真空熱處理技術可使結構材料、工模具的質量和使用壽命得到大幅度的提高，尤其適合于一些精密零件的熱處理。

 

隨著真空熱處理技術的發展，真空熱處理設備如真空回火爐、真空淬火爐、真空退火爐、真空滲碳爐、真空燒結爐、真空釬焊爐等在國內得以研制成功，在工業上真空爐的制造技術和裝備水平不斷提高，真空度也逐漸的達到了國際水平，但是在自動化控制和器件的精細加工上與國外還有一定的差距，尤其是在超高真空爐性能的穩定上有待精密器件制備水平的提高。此外測試技術和測量儀器的發展也對真空設備有很大的影響，尤其是自動測試與控制技術。真空設備中極限真空度、工作真空度、空爐抽空時間、壓升率、爐溫均勻度及空爐升溫時間等參數的準確測量和性能指標是真空爐性能的主要體現。

 

在工業發達的國家，真空熱處理爐的比例已達20%左右，而我國目前約有真空熱處理爐1200臺，占熱處理爐總數的1%左右，與國外的差距很大，預計今后隨著熱處理行業的技術進步和對熱處理工件質量的要求越來越高，真空熱處理將會有較大的發展。