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產品型號:KJ-T1200
主要用途:該系統廣泛應用于沉積高質量、SiO2薄膜、Si3N4薄膜、金剛石薄膜、硬質薄膜、光學薄膜和炭納米管(CNT)、石墨烯材料等。
PECVD技術是在低氣壓下,利用低溫等離子體在工藝腔體的陰極上(即樣品放置的托盤)產生輝光放電,利用輝光放電(或另加發熱體)使樣品升溫到預定的溫度,然后通入適量的工藝氣體,這些氣體經一系列化學反應和等離子體反應,最終在樣品表面形成固態薄膜。在反應過程中,反應氣體從進氣口進入爐腔,逐漸擴散至樣品表面,在射頻源激發的電場作用下,反應氣體分解成電子、離子和活性基團等。這些分解物發生化學反應,生成形成膜的初始成分和副反應物,這些生成物以化學鍵的形式吸附到樣品表面,生成固態膜的晶核,晶核逐漸生長成島狀物,島狀物繼續生長成連續的薄膜。在薄膜生長過程中,各種副產物從膜的表面逐漸脫離,在真空泵的作用下從出口排出。其工藝原理示意圖如圖1所示。
PECVD設備工作原理示意圖
PECVD設備主要由真空和壓力控制系統、淀積系統、氣體及流量控制、系統安全保護系統、計算機控制等部分組成。其設備結構框圖如下圖所示。
PECVD結構示意圖
產品名稱 | 管式PECVD系統 |
滑道管式爐部分 | |
產品型號 | KJ-T1200 |
加熱區長度 | 300mm |
爐管尺寸 | 直徑120*1600mm |
工作溫度 | ≦1100℃ |
最高溫度 | 1200℃ |
測溫元件 | K型熱電偶 |
溫控系統 | 30段PID微電腦可編程自動控制 |
保溫溫控精度 | ±1℃ |
溫控保護 | 具有超溫和斷偶保護功能 |
升溫速率 | 0-20ºC/min |
加熱元件 | 高電阻電熱合金絲OCr27A17Mo |
工作電壓 | AC220V 單相50HZ |
額定功率 | 4KW |
爐膛材料 | 采用多晶纖維爐膛材料,材料保溫性能好、反射率高、溫場均衡 |
密封系統 | 該爐爐管與法蘭之間采用O型圈擠壓密封、撤卸方便、可重復撤卸,氣密性好 |
爐 管 | 高純石英管 |
法 蘭 | 304不銹鋼密封法蘭,已安裝機械壓力表和不銹鋼截止閥,方便拆卸,放取材料 |
爐體結構 | 鍍Cr厚鋼板雙向滑軌,可實現管式爐移動,達到快速升溫和降溫 |
爐殼溫度 | ≤45℃ |
真空系統部分 | |
名稱 | DRV16旋片泵4L/S |
主要參數 | 極限真空度10Pa(包含KF25接口、真空擋板閥和可移動箱體) |
真空顯示 | 電阻數顯真空計,顯示范圍標準大氣壓--10-1pa |
氣路系統部分 | |
名稱 | 四路質量流量計 |
氣路 | 四路 |
流量控制 | 數字顯示,每路氣體含有針閥單獨控制,氣體流量自動控制 |
進出氣口 | 四進一出,內置精密混氣罐 |
鏈接方式 | 雙卡套接頭 |
流量范圍 | MFC1-MFC4:0-500sccm(量程可選) |
控制精度 | ±1.5%F.S左右,量程不同,略有差別 |
工作環境溫度 | 5℃-45℃ |
等離子射頻器部分 | |
名稱 | 射頻自動匹配器 |
匹配功率范圍 | 0-500W |
工作頻率 | 13.56MHZ+0.005% |
正常工作反射功率 | <3W |
匹配時間 | <3S |
傳輸效率 | >90% |
匹配器電源 | AC220V/50-60HZ |
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