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產品型號:KJ-TCVD1100-S60CK2
主要用途:這款雙溫區滑道CVD管式爐采用滑道設計,可以通過導軌左右滑動實現物料的快冷和快熱;可同時連接6種氣源,氣體流量采用觸屏6路質量流量控制器進行精確測量和控制。該高溫CVD設備主要用于大學,研究中心和生產企業進行氣相沉積相關的實驗與生產。
產品優勢
該爐體采用上下“分-合”結構,易于取放爐管
爐膛內部設計有對流柵格,爐體內部氣流容易形成上下對流循環,有利于爐溫平衡,溫場均勻
整個爐體采用雙層內膽式結構,中間有氣隙隔離,爐體表面可以安全觸摸無滾燙感覺
爐膛加熱元件呈圓周狀軸向均勻分布,并且發熱元件已做內嵌式固化,加熱時熱能輻射均勻溫和
氣體流量采用觸屏6路質量流量控制器進行精確測量和控制
高真空分子泵機組可對爐管進行快速置換氣體、實現管內高真空
產品名稱 | CVD系統 |
型號 | KJ-TCVD1200-S60CK2 |
雙溫區滑道管式爐部分 | |
爐膛模式 | 開啟式 |
爐體滑動 | 可以通過導軌左右滑動實現物料的快冷和快熱 |
爐膛材料 | 氧化鋁耐火纖維 |
加熱元件 | 含鉬加熱絲 |
極限溫度 | 1200℃ |
工作溫度 | ≤1100℃ |
升溫速率 | ≤20℃(建議:15℃/min) |
加熱溫區 | 雙溫區 |
溫區總長度 | 200+200mm |
爐管材質 | 高純石英 |
爐管直徑 | 60mm |
密封方式 | 不銹鋼真空法蘭一套(含密封硅膠圈) 其中一端用方便進出物料的快接法蘭,預留進氣品和出氣口 |
控制模式 | 多段智能PID程序控溫 |
測溫元件 | K型熱電偶 |
報警 | 有超溫和斷偶報警 |
供電電源 | 220V 50HZ |
供氣系統 KJ-6Z | |
工作電壓 | 220V/50HZ |
最大輸出功率 | 18W |
工作溫度 | 5--45℃ |
最大氣壓 | 3*106Pa |
氣體通道 | 可同時連接6種氣源 質量流量計和混氣罐都安裝在移動箱體內 |
流 量 計 | 質量流量計(可選其他量程 不影響價格) |
A路量程 | 0~300SCCM |
B路量程 | 0~300SCCM |
C路量程 | 0~300SCCM |
D路量程 | 0~300SCCM |
E路量程 | 0~300SCCM |
F路量程 | 0~300SCCM |
氣路壓力 | -0.1~0.15 MPa |
截止閥 | 不銹鋼材質 |
氣體連接管 | 不銹鋼管 |
真空系統(含不銹鋼波紋管和相關連接配件) | |
真空泵+數顯真空計 | 分子泵機組及相應連接管件 220V/50HZ 底部安滑輪方便移動,上方可放置高溫爐極限真空度可實現6.67*10-3pa |
隨機配件 | 石英爐管1根、真空法蘭1套、爐管堵塞2個、O型密封圈、防護手套1副、坩堝鉤1把、聚四氟管3米、內六角扳手2把、說明書1份。 |
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鄭州科佳電爐有限公司是一家專業從事電爐產品的研發、生產與銷售的高新技術企業。我公司產品具有升溫快、節能、溫控精度高、保溫性能好、微電腦控制、可編程全自動升溫降溫、爐壁溫度接近室溫、使用壽命長等特點;產品型號達到上百種,并可根據客戶需求定制各式爐型,以滿足高校、科研院所和工礦企業做高溫燒結、金屬退火、氣氛還原和質量檢測之用,廣泛應用于陶瓷、化工、電子、冶金、新材料開發、機械、耐火材料、建材、特種材料等領域的實驗和生產,受到廣大新老用戶的一致好評。
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科佳鄭重承諾:每臺電爐出廠前均經過嚴格的質量檢測以及高溫測試,為客戶提供放心可靠的產品?。?!
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