服務熱線
177-3714-9370
產品型號:KJ-TCVD1200-S80LK1
主要用途:適用于CVD工藝,如碳化硅鍍膜、陶瓷基片導電率測試、ZnO納米結構的可控生長、陶瓷電容(MLCC)氣氛燒結等實驗。
此款CVD氣相沉積系統的工作溫度為300℃至1200℃,配備真空泵,氣體混合裝置。采用了溫度控制系統,高溫精度,出色的氣體流量精度,易于操作,有非常好的隔熱效果和溫度均勻性。該CVD管式爐適用于CVD工藝,如碳化硅鍍膜、陶瓷基片導電率測試、ZnO納米結構的可控生長、陶瓷電容(MLCC)氣氛燒結等實驗。主要用于大學,研究中心和生產企業進行氣相沉積相關的實驗與生產。
產品優勢
智能PID控制,具有多段可編程控溫和自整定功能,多段"時間—溫度曲線"任意可設
可重復拆裝的不銹鋼密封法蘭。拆裝方便,密封性好,可抽真空通多種氣氛
雙層殼體上開啟結構,取放爐管方便,裝有風冷系統,爐子外殼溫度保持安全范圍內
產品名稱 | 化學氣相沉積系統 |
產品型號 | KJ-TCVD1200-S80LK1 |
管式爐部分 | |
爐膛模式 | 開啟式 |
顯示模式 | LED |
爐膛材料 | 氧化鋁耐火纖維 |
加熱元件 | 合金加熱絲 |
極限溫度 | 1200℃ |
工作溫度 | ≤1100℃ |
升溫速率 | 0-10℃/min |
加熱溫區 | 單溫區 |
溫區長度 | 440mm |
爐管材質 | 高純石英 |
爐管外徑 | 80mm |
爐管長度約 | 1000mm(以實際供貨為準) |
密封方式 | 可重復拆裝的不銹鋼密封法蘭。拆裝方便,密封性好 |
控制模式 | 智能PID控制,具有多段可編程控溫和自整定功能 |
溫度曲線 | 多段"時間—溫度曲線"任意可設 |
報警:有超溫和斷偶報警 | |
測溫元件 | K型熱電偶 |
供電電源 | 220V 50Hz |
加熱功率約 | 4KW |
供氣系統 | |
流 量 計 | 三路質量流量計(量程可根據需要選擇) |
A路量程 氮氣 | 0~1000SCCM |
B路量程 甲烷 | 0~500SCCM |
C路量程 乙烯 | 0~1000SCCM |
混氣 | 內含一個精密混氣罐 |
供電電源 | 220V 50HZ |
工作環境溫度 | 5℃-45℃ |
真空系統(含不銹鋼波紋管和相關連接配件) | |
真空泵抽速 | 2L/S抽速的機械旋片泵、波紋管及相關連接件,極限真空可實現10pa |
數顯真空計 | 數顯電阻真空計集成在可移動供氣系統箱體上 |
配用規管 | 電阻規 |
測量范圍 | 1.0×105—1.0×10-1 (Pa) |
測量精度 | ±10% |
零點漂移 | ±2% |
測量路數 | 1路 |
顯示路數 | 1個窗口 |
顯示方式 | 五位LED數字顯示,采用科學計數法,例:1.2E-1,表示為1.2×10-1Pa |
電源 | AC/220V/50Hz/15W |
整機外形尺寸約 | 含真空泵,寬1000*深600mm*高1000mm |
在線留言
報價清晰 材料透明 省錢省心
鄭州科佳電爐有限公司是一家專業從事電爐產品的研發、生產與銷售的高新技術企業。我公司產品具有升溫快、節能、溫控精度高、保溫性能好、微電腦控制、可編程全自動升溫降溫、爐壁溫度接近室溫、使用壽命長等特點;產品型號達到上百種,并可根據客戶需求定制各式爐型,以滿足高校、科研院所和工礦企業做高溫燒結、金屬退火、氣氛還原和質量檢測之用,廣泛應用于陶瓷、化工、電子、冶金、新材料開發、機械、耐火材料、建材、特種材料等領域的實驗和生產,受到廣大新老用戶的一致好評。
主要產品有箱式馬弗爐、管式電阻爐、真空爐、氣氛爐、坩堝爐、CVD系統、牙科爐、升降爐、軌道爐、臺車爐、退火爐、升降爐、微波燒結爐、烤瓷爐等標準及非標實驗電爐和工業電爐,并提供各類電爐配件、加熱元件及耐火材料。
科佳鄭重承諾:每臺電爐出廠前均經過嚴格的質量檢測以及高溫測試,為客戶提供放心可靠的產品?。?!
1、我公司對所供設備提供質保一年保修服務(易損件除外),在保修期內因設備質量原因造成的設備損壞或故障,均予以免費維修。保修期滿后,仍提供終身的、優質的維修服務。
2、在設備使用過程中如遇故障的,我公司將盡快做出處理方案,確保設備正常運行。
3、我公司設提供免費的設備操作培訓和簡單故障排除維修培訓。
4、我公司技術人員可提供上門服務(產品安裝調試、整機維護、技術講解及操作指導等)。
5、本公司可提供運輸服務,包裝方式均按照標準安全包裝進行。隨機技術資料齊全(用戶手冊、保修手冊、有關資料及配件、隨機工具等)。
6、本公司所有產品均有歐盟CE質量認證。