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產品型號:KJ-T1200-S60-CVD
主要用途:此款CVD生長系統適用于CVD工藝,如碳化硅鍍膜、陶瓷基片導電率測試、ZnO納米結構的可控生長、陶瓷電容(MLCC)氣氛燒結等實驗。
產品優勢
?中低真空系統具有真空度上下限自動控制功能
高真空系統采用高壓強,耐沖擊真空泵,防止意外漏氣造成真空泵損壞,延長系統使用壽命
控制電路選用模糊PID程控技術,該技術控溫精度高,熱慣性小,溫度不過沖
產品名稱 | 低真空CVD系統 |
產品型號 | KJ-T1200-S60-CVD |
管式爐部分 | |
爐體結構 | 雙層殼體結構,配有冷風系統自動降溫爐殼溫度不超過45℃ |
爐膛材質 | 日本技術真空吸附成型的優質高純氧化鋁多晶纖維固化爐膛,材料保溫性能好、反射率高、溫場均衡 |
最高溫度 | 1200℃ |
連續工作溫度 | 1100℃ |
升溫速度 | 推薦≤10℃/min,最快升溫速度20℃/min |
爐管材料 | 高純石英管 |
爐管尺寸 | OD:60mm* ID:54mm * 長1200mm 儀器使用前必須放入管堵,防止熱輻射 |
加熱區長度 | 220+220+220mm |
法蘭 | 不銹鋼密封法蘭,拆卸方便,法蘭上裝有精密針閥 |
溫控系統 | 溫度控制系統采用人工智能調節技術,具有PID調節、自整定功能 1、采用PID方式調節控溫,可設置30段升降溫程序 2、控溫精度±1ºC 3、具有過溫保護、斷偶保護 4、儀表具有溫度自整定的功能 |
加熱元件 | 含鉬合金電阻絲 |
測溫元件 | K型熱電偶 |
工作電源 | AC220V,50/60Hz |
額定功率 | 5KW |
進出氣口 | 法蘭上含有真空連接口,進出氣口 |
氣路系統部分 | |
質量流量計 | 四路精密質量流量計:數字顯示、氣體流量自動控制。 MFC1 范圍: 0-500 sccm(量程可選) MFC2 范圍: 0-500 sccm(量程可選) MFC3 范圍: 0-500 sccm(量程可選) MFC4 范圍: 0-500 sccm(量程可選) 氣路:4 路 流量精度: 0.2% |
真空系統部分 | |
真空泵 | 1.DRV10旋片泵抽速2L/S 2.極限真空度:7*10-2Torr 3.數顯真空計,實時顯示真空度,真空顯示范圍:1×105--1×10-1pa |
標準配置 | 主機 1 臺,流量計 1 套、真空泵 1 套,密封法蘭 1 對,石英管 1 支, 密封圈4 個,爐堵 6 個,坩堝鉤 1 把,高溫手套 1 副、拆卸扳手 1把、說明書 1 份、合格證保修卡 1 份 |
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鄭州科佳電爐有限公司是一家專業從事電爐產品的研發、生產與銷售的高新技術企業。我公司產品具有升溫快、節能、溫控精度高、保溫性能好、微電腦控制、可編程全自動升溫降溫、爐壁溫度接近室溫、使用壽命長等特點;產品型號達到上百種,并可根據客戶需求定制各式爐型,以滿足高校、科研院所和工礦企業做高溫燒結、金屬退火、氣氛還原和質量檢測之用,廣泛應用于陶瓷、化工、電子、冶金、新材料開發、機械、耐火材料、建材、特種材料等領域的實驗和生產,受到廣大新老用戶的一致好評。
主要產品有箱式馬弗爐、管式電阻爐、真空爐、氣氛爐、坩堝爐、CVD系統、牙科爐、升降爐、軌道爐、臺車爐、退火爐、升降爐、微波燒結爐、烤瓷爐等標準及非標實驗電爐和工業電爐,并提供各類電爐配件、加熱元件及耐火材料。
科佳鄭重承諾:每臺電爐出廠前均經過嚴格的質量檢測以及高溫測試,為客戶提供放心可靠的產品?。?!
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