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產品型號:KJ-CVD-1700-60*300-F3
主要用途:該高溫化學氣相沉積系統的工作溫度為300℃至1600℃,配備真空泵,氣體混合裝置。采用溫度控制系統,高溫精度,出色的氣體流量精度,易于操作,出色的隔熱效果和溫度均勻性。 主要用于大學,科研機構和生產企業進行氣相沉積相關的實驗與生產。
產品優勢
爐管采用剛玉材質,工作溫度可達1600度,具有高溫穩定性和耐腐蝕性,加熱均勻性好
控溫系統采用PID方式調節,可以設置30段升降溫程序,控溫精度可以達到±1℃
爐管與法蘭之間采用硅膠O型圈擠壓密封、密封性強,法蘭帶閥門和相關接口,可抽真空通氣氛
產品名稱 | 高溫化學氣相沉積系統 | |
產品型號 | KJ-CVD-1700-60*300-F3 | |
加熱部分 | 顯示 | LED |
最高溫度 | 1700℃ | |
工作溫度 | ≤1600℃ | |
升溫速率 | 建議: 0~15℃/min (max. 20℃/min) | |
加溫溫區 | 300mm | |
加熱元件 | 硅鉬棒 | |
熱電偶 | B 型 | |
控溫精度 | ±1℃ | |
爐管尺寸 | 60 x 900mm | |
剛玉管 | ||
溫度控制 | PID自動控制 | |
升溫速率 | 30段可編程 | |
電壓 | 220V, 50 Hz, 單相 最大功率: 4KW | |
最大工作壓力 | 0.02MPa | |
真空部分 | 真空泵總成 (旋轉葉片泵+擴散泵) 包括KF25、KF50適配器、用于真空泵組的波紋管和帶輪子的移動柜。 |
冷態極限真空6.67*10-3Pa。 |
真空測量 | 復合真空計。 | |
真空法蘭 | 帶閥和針的不銹鋼真空法蘭 | |
質量流量計(3條氣體路線Ar、H2、CH4) | 流量范圍 | (20, 30, 50, 100, 200, 300, 500) SCCM |
準確度 | ±1.5 % F.S. | |
響應時間 | ≦10sec | |
工作壓力差范圍 | 0.1~0.5MPa | |
耐壓性 | 3MPa | |
工作環境溫度 | 5~45℃ | |
輸入電壓信號 | 0 V ~ +5.00 V | |
輸出電壓信號 | 0 V ~ +5.00 V |
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