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產品型號:KJ-T1600-CVD
主要用途:廣泛應用于半導體工業中,包括大范圍的絕緣材料,以及大多數金屬材料和金屬合金材料等的鍍膜,該設備可在目標材料表面形成密集的HfCl4涂層.
產品優勢
控溫系統采用PID方式調節,可以設置30段升降溫程序,控溫精度可以達到±1℃
氣路選用液晶屏觸摸界面,使得操作異常簡單、方便設置各項技術參數
專利技術快接法蘭,帶閥門和相關接口,拆裝方便,可抽真空充保護氣體至微正壓
產品名稱 | CVD系統 |
產品型號 | KJ-T1600-CVD |
第一部分: 定制坩堝爐(蒸發系統) | |
使用溫度 | 超過500℃ |
工作區尺寸 | Φ150 x H320mm(不銹鋼內膽的有效尺寸) |
坩堝 | 310S不銹鋼,形式及具體要求與客戶確認 |
加熱元件 | 電阻絲 |
升溫速率 | 0-20°C/min |
漏率 | 20Pa/min |
第二部分:定制小管式爐(混氣系統) | |
使用溫度 | 超過500℃ |
工作區尺寸 | Φ150 x H200mm(不銹鋼內膽尺寸) |
混氣罐 | 310S 不銹鋼 |
加熱元件 | 電阻絲 |
漏率 | 20Pa/min |
第三部分 1600度管式爐(反應器) | |
最高溫度 | 1600℃ |
長期工作溫度 | 1500℃ |
爐管尺寸 | OD100/ID90,加熱區300mm |
爐管材質 | 高純氧化鋁管 |
加熱元件 | 硅鉬棒 |
漏率 | 20Pa/min |
真空度 | 抽真空度到-7*10-3Pa 壓力范圍不超過0.02MPa |
更多參數可根據需求定制 |
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鄭州科佳電爐有限公司是一家專業從事電爐產品的研發、生產與銷售的高新技術企業。我公司產品具有升溫快、節能、溫控精度高、保溫性能好、微電腦控制、可編程全自動升溫降溫、爐壁溫度接近室溫、使用壽命長等特點;產品型號達到上百種,并可根據客戶需求定制各式爐型,以滿足高校、科研院所和工礦企業做高溫燒結、金屬退火、氣氛還原和質量檢測之用,廣泛應用于陶瓷、化工、電子、冶金、新材料開發、機械、耐火材料、建材、特種材料等領域的實驗和生產,受到廣大新老用戶的一致好評。
主要產品有箱式馬弗爐、管式電阻爐、真空爐、氣氛爐、坩堝爐、CVD系統、牙科爐、升降爐、軌道爐、臺車爐、退火爐、升降爐、微波燒結爐、烤瓷爐等標準及非標實驗電爐和工業電爐,并提供各類電爐配件、加熱元件及耐火材料。
科佳鄭重承諾:每臺電爐出廠前均經過嚴格的質量檢測以及高溫測試,為客戶提供放心可靠的產品?。?!
1、我公司對所供設備提供質保一年保修服務(易損件除外),在保修期內因設備質量原因造成的設備損壞或故障,均予以免費維修。保修期滿后,仍提供終身的、優質的維修服務。
2、在設備使用過程中如遇故障的,我公司將盡快做出處理方案,確保設備正常運行。
3、我公司設提供免費的設備操作培訓和簡單故障排除維修培訓。
4、我公司技術人員可提供上門服務(產品安裝調試、整機維護、技術講解及操作指導等)。
5、本公司可提供運輸服務,包裝方式均按照標準安全包裝進行。隨機技術資料齊全(用戶手冊、保修手冊、有關資料及配件、隨機工具等)。
6、本公司所有產品均有歐盟CE質量認證。